隨著導電型SiC襯底的逐漸量產，對工藝的穩定性、可重復性都提出更高的要求。特別是缺陷的控制，爐內熱場微小的調整 […]
固定線圈，工藝穩定
了解更多滿足大尺寸晶體生長，溫度精確控制
了解更多≤±1℃溫度分布，更大處理箱，逆流、平流工藝
了解更多恒普推出的晶體生?設備可根據用戶需求，實現40多種不同功能結構選項，滿足各種不同晶體生?場景。同時恒普科技為用戶提供全套所需工具包，為用戶提供全系列解決方案。 在碳化硅同質外延設備領域，恒普現已量產水平式外延設備，同時即將推出垂直式外延設備。
恒普服務部門具有10多年售后服務經驗，是一個具備優秀專業素質和先進服務理念的團隊，隨時待命，確保恒普交付的每一臺設備正常運行。 在設備到達客戶現場之后，進行安裝和調試，確保設備順利運行，并進行現場操作維護培訓。在保修期內對設備定期進行跟蹤維護，建立服務檔案。對設備出現的問題在第一時間內進行回復，并對客戶的提出的需求及時跟進。
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